Efficient contamination removal

高效去除污染物

Surface preparation for bonding or further processing

為後續加工進行表面預處理

Features 產品特色

Benefits 產品優勢

• 300W RF power (optional 600W)

  300W RF 功率（可選 600W）

• Adjustable electrode-surface distances

  可調節的電極與表面距離

• Precise gas control by MFC

  通過質量流量控制器實現精確的氣體控制

• Interlock for safety

  具備安全鎖設計

• Fast processing speed

  處理速度快

• No organic residues remain

  無有機殘留物

• Eco-friendly: no high volume liquid waste of wet chemical cleaning

  環境友善：避免使用濕法清洗所產生的大量液體廢棄物